国内首条8英寸“超越摩尔”研发中试线通线获成功

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记者近日获悉，上海微技术产业研究所运营的第一条8英寸“超越摩尔”(Beyond Moore)R&D中试线的传感器产品近日已通过验证，这标志着R&D中试线的成功。

超越摩尔不仅仅是摩尔，这意味着在半导体技术继续发展摩尔定律的同时，它通过使用成熟的制造工艺，结合微机电技术(mems)和光电技术，开辟了一条新的半导体发展道路。“超越摩尔”技术以传感器为核心，融合了射频、电力、微能源等技术，是未来实现物联网的基础。

作为一个创新的功能平台，ITRI以国内集成电路R&D和上海嘉定产业基地为依托，在中国建立了首个8英寸cmos兼容的R&D试点线，旨在进一步推动中国“超越摩尔”技术的快速发展和物联网的创新应用，改善国内超越摩尔产业的生态链布局，帮助创新R&D..

据悉，R&D中试线重点发展表面硅、体硅和三维微纳加工技术，并根据“超越摩尔”(Beyond Moore)产品和技术特点，部署mems、硅光子学、射频、硅基iii-v(第三代半导体)、三维集成、磁、电、生物等相关工艺和测量设备，提供全方位的产品研发、小批量生产、技术培训、设备验证等服务。

上海微技术产业研究院院长杨潇表示，这条线的成功标志着中国mems和先进传感器的研发和产业化进入了快速发展的新阶段；未来，R&D试点线将继续努力在新材料、新工艺、新设备、新系统等关键技术领域开展R&D项目，进一步推动“超越摩尔”产业链的完善和物联网创新应用发展。

数据显示，上海微技术产业研究院致力于“超越摩尔”技术和物联网应用的创新和产业化。作为全球合作创新中心，ITRI将R&D、工程和孵化整合在一起，为创新企业和合作伙伴提供全方位的服务和解决方案。目前，ITRI已与国内外众多的生产、学习和研究机构建立了密切的合作关系，以实现创新成果的高效产业化，加快建立“超越摩尔”技术和物联网生态系统。